NOVA社製膜厚・OCD測定装置 150/200mmウェハ対応機

NOVA社製膜厚・OCD測定装置 150/200mmウェハ対応機

【CMP・Etcher向けIntegration】

Nova i500は、量産工程で最速な膜厚測定を実現した最新インテグレーション膜厚測定です。Nova社の特有技術を駆使し、短時間で精度の高いスペクトラム集光技術を可能としました。最先端機種のi500は、優れた測定精度・リライアビリティ・最高水準のマッチング性能をご提供致します。

NOVA i500

【膜厚・OCD測定装置-Stand Alone】

NS3090NextSA200mmは、150〜200mm Waferの膜厚測定・OCD測定装置です。高精度・高スループットを実現し、量産運用にも適応したマッチングを兼ね備えた装置です。

300mm対応機においては、ワールドワイドで800台以上の導入実績があります。

NOVA

T600、T500は、300mm Wafer対応装置としては、業界最高水準のスループットを有し、また最新半導体製造工程が面している、複雑な測定チャレンジに適応したプラットフォームのスタンドアローンです。
最新モデルのT600は、最先端デザインノードに対応した装置であり、Nova社が提唱しているFleet Solutionの測定ユニットであり、効率的・効果的なSolutionを提案致します。

NOVA

【モデリングエンジン-NovaMARS】

NovaMARSは、最先端の3次元構造モデリングのソフトウェアパッケージです。複雑な2次元・3次元構造のスタックに対し、アプリケーション開発を促進する強力なツールです。

NOVAデータ

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